VPSA 산소플랜트 개발

1891년 독일 회사 Linde는 냉동 기계 제조 회사의 실험실에서 공기 액화 작업을 시작했습니다.
1895년에 린데 교수는 줄-톰슨 효과를 사용하여 최초의 액체 공기 장치를 만들었습니다.
1901년에 Linde는 뮌헨에 극저온 장비 제조 공장을 설립했습니다.
1902년에 Linde가 설계한 최초의 단일 스테이지 정류탑용 공기 분리 장비가 완성되었습니다. 프랑스인 Kraut는 팽창 기계를 발명하고 파리에 공기 액화 회사를 설립했습니다.
1903년에 Linde는 고압 조절 공정을 사용하여 최초의 산업용 10m3/h 산소 발생기를 만들었습니다.
1910년에 프랑스는 피스톤 팽창 기계를 갖춘 중압 공정을 사용하여 최초의 50m3/h 산소 발생기를 만들었습니다.
1920년 독일 하이랜드(Hyland)는 고압 팽창기를 이용해 액체 산소를 생산하는 고압 공정을 발명했습니다.
1924년 Frankel은 대형 공기 분리 장비에 일반 열교환기 대신 금속으로 채워진 냉각기를 사용해야 한다고 제안했습니다.
1926년 Frankel은 공통 형태의 냉 축압기를 제안했습니다.
1930년에 Linde는 255m3/h의 출력과 99.5% O2 순도를 갖춘 최초의 산업 규모 Linde Frankel 장치를 만들었습니다.
1932년에 터보팽창기가 Linde-Frankel 장치에 처음으로 사용되었습니다. 산소는 독일에서 야금과 암모니아 합성에 처음으로 사용되었습니다.
1939년 소련은 고효율 터보팽창기를 제작하고 완전 저압 공기 분리 장비에 대한 연구를 시작했습니다.
1947년에 Linde는 완전 바닥 압력 산업용 산소 제조 장비에 전념했습니다. 소련은 완전 저압 공정을 갖춘 대규모 산업용 산소 플랜트를 설계하기 시작했습니다.
1949년 미국에서는 처음으로 판 뒤틀림 열 교환기를 적용한 29000m3/h 산소 발생기를 출시했습니다.
1952년 오스트리아는 강철을 만들기 위해 처음으로 순수한 산소 상부 송풍 전환 장치를 사용했고, 이는 야금학적 산소의 급격한 증가를 촉발시켰습니다.
1955년 미국은 미사일 개발에 박차를 가해 가속제로 액체산소를 대량 소모했다.
1957년에는 최초로 자동으로 작동되는 120톤/일 산소 발생기가 만들어졌습니다.
1960년 일본은 10000m3/h99.6% O2와 10000m3/h99.99% N2 이중 고순도 대규모 완전 저전압 장비를 완성했다.
1972년 프랑스는 세계 최대 규모의 순수 산소 공기 분리 장비(1700톤/일 O2 및 1500톤/일 N2)를 만들었습니다.
더 큰 단위는 아직 연구 중입니다.